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�(lián)系人:張紅星
地址:上海市青浦區(qū)盈港東路6400�(hào)1�407�
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TURCK傳感器是用標(biāo)�(zhǔn)的生�(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技�(shù)制造的
通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上�
薄膜傳感器則是通過沉積在介�(zhì)襯底(基板)上的,相�(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上�
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿�,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成�,然后�(jìn)行熱處理,使厚膜成形�
陶瓷傳感器采用標(biāo)�(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生�(chǎn)�
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之�,已成形的元件在高溫中�(jìn)行燒�(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方�,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變��
每種工藝技�(shù)都有自己的優(yōu)�(diǎn)和不�。由于研�、開�(fā)和生�(chǎn)所需的資本投入較�,以及傳感器參數(shù)的高�(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理�
按測(cè)量目分類
物理型傳感器是利用被�(cè)量物�(zhì)的某些物理性質(zhì)�(fā)生明顯變化的特性制成的�
化學(xué)型傳感器是利用能把化�(xué)物質(zhì)的成�、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成��
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生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,用以檢�(cè)與識(shí)別生物體�(nèi)化學(xué)成分的傳感器�
傳感器的靜態(tài)特性是指對(duì)靜態(tài)的輸入信�(hào)� 傳感器(�4�
傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互�(guān)�。因?yàn)檫@�(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無�(guān),所以它們之間的�(guān)�,即傳感器的靜態(tài)特性可用一�(gè)不含�(shí)間變量的代數(shù)方程,或以輸入量作橫坐標(biāo),把與其�(duì)�(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度、靈敏度、遲�、重�(fù)性、漂移等�
1、線性度:指?jìng)鞲衅鬏敵隽颗c輸入量之間的�(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍�(nèi)�(shí)際特性曲線與擬合直線之間的大偏差值與滿量程輸出值之��
2、靈敏度:靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的一�(gè)重要指標(biāo)。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比。用S表示靈敏��
3、遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大�?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲�。對(duì)于同一大小的輸入信�(hào),傳感器的正反行程輸出信�(hào)大小不相等,這�(gè)差值稱為遲滯差��
4、重�(fù)性:重復(fù)性是�?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐环较蜃魅砍踢B�(xù)多次變化�(shí),所得特性曲線不一致的程度�
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5、漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量隨著時(shí)間變�,此�(xiàn)象稱為漂�。產(chǎn)生漂移的原因有兩�(gè)方面:一是傳感器自身�(jié)�(gòu)參數(shù);二是周圍環(huán)境(如溫�、濕度等��
6、分辨力:當(dāng)傳感器的輸入從非零值緩慢增加時(shí),在超過某一增量后輸出發(fā)生可觀�(cè)的變�,這�(gè)輸入增量稱傳感器的分辨力,即小輸入增��
7、閾值:�(dāng)傳感器的輸入從零值開始緩慢增加時(shí),在�(dá)到某一值后輸出�(fā)生可觀�(cè)的變�,這�(gè)輸入值稱傳感器的閾值電��
傳感器動(dòng)�(tài)特�
所謂動(dòng)�(tài)特�,是�?jìng)鞲衅髟谳斎胱兓瘯r(shí),它的輸出的特�。在�(shí)際工作中,傳感器的動(dòng)�(tài)特性常用它�(duì)某些�(biāo)�(zhǔn)輸入信號(hào)的響�(yīng)來表示。這是�?yàn)閭鞲衅鲗?duì)�(biāo)�(zhǔn)輸入信號(hào)的響�(yīng)容易用實(shí)�(yàn)方法求得,并且它�(duì)�(biāo)�(zhǔn)輸入信號(hào)的響�(yīng)與它�(duì)任意輸入信號(hào)的響�(yīng)之間存在一定的�(guān)�,往往知道了前者就能推定后�。常用的�(biāo)�(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信�(hào)和正弦信�(hào)兩種,所以傳感器的動(dòng)�(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響�(yīng)來表��
傳感器的線性度
通常情況�,傳感器的實(shí)際靜�(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在�(shí)際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀�(shù),常用一條擬合直線近似地代表�(shí)際的特性曲�、線性度(非線性誤差)就是這�(gè)近似程度的一�(gè)性能指標(biāo)
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